製造工場において、冷却塔は熱を最も多く排出し、冷水システムは熱負荷を発生させる主な要因となっています。このような関係は、他の重要なサポート資産（エアハンドラーやコンプレッサー、プロセス真空、プロセス冷却水など）にも影響を与えます。オープンシステムである冷却塔は、冷却装置の効率を低下させる空気汚染物質の影響を受けがちです。製造工場の効率と稼働時間を維持するには、適切なシステム管理が不可欠です。
マイクロエレクトロニクス製造における信頼性と生産性の向上
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冷却水システム
- アプローチ温度を、製造メーカーが指定する温度以下で維持しなければならないという課題に直面していますか？
- 水、エネルギー、廃棄物、コスト、リスク削減を数値化するためのツールに不満がありますか？
- 水質のばらつきを考慮しながら、利用可能な再生水の水源をどのように利用するのがベストなのか、お悩みですか？
当社の冷却水用 3D TRASARTM 技術は、規格外の状態を検出し、正しい対応を判断して運用とコストの効率化を実現します。3D TRASAR プログラムでは、再生されたプロセス洗浄水を冷却塔の補給水として使用することができ、場合によっては冷却塔で真水を使用する必要がなくなります。そして、いずれのケースでも資産を確実に保護します。
冷却水用 3D TRASARTM プログラムを検討すべき理由：
- スケールや付着物を防止することにより、エネルギー消費を最小限に抑える
- 最適化された濃縮サイクルにより水の使用量を最小化
- パフォーマンスダッシュボードを通じてリアルタイムでシステムデータを取得
- 24 時間年中無休の監視体制で安心感を高める
- その一例として、最初の 1 年で 720 万ガロンの水を節約し、$115,000 の総運用コスト（TCO）の削減に成功
ナルコ ウォーターのろ過システムが、許容誤差の小さい冷却水システムの沈殿物を最小限に抑えて冷却水の供給を確保
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ボイラシステム
一部の製造工場では、蒸気発生装置を利用してプロセスに必要な熱エネルギーを供給しています。こうしたシステムは、高温の UPW や二次温水プロセス用のエアハンドラー、熱交換器などといったさまざまな資産に影響を与えます。
- 水とエネルギーを節約するために、このようなシステムを検討したことがありますか？
- ボイラが早期に故障し、配管のやり直しが必要になったことはありますか？
- 総コストを最小限に抑えながらボイラを稼働させるために、新しい水処理監視ツールを導入することをお考えですか？
当社のボイラ用 3D TRASARTM 技術プログラムは、競争上の優位性を高め、総稼働コストを最適化するよう設計されています。また、総合的なシステムアプローチを用いて、信頼性、安全性、コスト効率に優れた蒸気の供給をサポートします。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- 蒸気ボイラー用脱酸素剤、内部処理剤、凝縮水腐食防止剤
- 内部処理とボイラ給水システムの腐食をリアルタイムで監視および制御する技術
- 貴社の運用および環境のニーズに合わせたプログラムで蒸気システムを保護
- 燃料と水の節約および資産の耐用年数の長期化により、大幅な投資利益を創出
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温水システム
一部の製造工場では、温水システムを利用してプロセスに必要な熱エネルギーを供給しています。こうしたシステムは、高温の UPW や二次温水プロセス用のエアハンドラー、熱交換器などといったさまざまな資産に影響を与えます。
- 水とエネルギーを節約するために、このようなシステムを検討したことがありますか？
- 熱交換器が早期に故障し、クリーニングや交換が必要になったことはありますか？
- 総コストを最小限に抑えながら温水システムを稼働させるために、新しい水処理監視ツールを導入することをお考えですか？
製造工場の温水システムにおけるスケールや腐食の防止に重点を置くことで、信頼性の高い製造環境を確保することができます。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- また場合によっては、3D TRASARTM 技術を駆使して、 伝導率、腐食率、水力損失、pH などの重要な水パラメータをプロセス内でリアルタイムで把握することが可能です。
- TRAC 温水プログラムが、多様な金属への優れた腐食防止効果を発揮
- 燃料と水の節約および資産の耐用年数の長期化により、大幅な投資利益を創出
ダイアログウィンドウの始まり。「エアハンドラー」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
エアハンドラー
空気処理システムは、特定の温度と相対湿度で新鮮な空気を供給します。設定値からのわずかな逸脱でも、製品の品質に重大な影響を与える可能性があります。信頼性が高く効率的な空気処理システムがなければ、稼働時間が制限されるリスクがあり、さらにはダウンタイムにかかるコストも高くなってきます。
- 目標温度と相対湿度の設定値を確実に維持できていますか？
- 暖かい季節に、どのようにして冷却機能を適切に維持し、施設全体での需要を満たせるか、お悩みですか？
- コイルクリーニング プログラムによる省エネを正確に測定し、文書化できていますか？
当社の COIL-FLO コイルクリーニング プログラムは、コイルの効率と空気の質を改善し、より多くの気流と、より冷たい空気を確保します。
エアハンドラー向けに COIL-FLO を検討すべき理由：
- エアハンドラーのエネルギーコスト削減
- フィルターの耐用期間を向上させ、フィルター交換にかかるコストを削減
- データを基準にした節約したエネルギーの文書化
- トレーニングを受けた専任の技術者によるクリーニング
- COIL-FLO により、ある半導体製造工場では年間 122 万 kWh の省エネを達成し、$117,900 USD に匹敵するコスト削減につながりました
ダイアログウィンドウの始まり。「スクラバー」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
スクラバー
スクラバーは、工程から排気される空気の流れから汚染物質を除去することで、環境面のコンプライアンスと保護をサポートします。高濃度のガス流には、ポイントを絞った（POU）専用のスクラバーを使用することもあります。充填材上のバイオフィルムとスケールを最小限に抑えることは、スクラバーの性能を維持するうえで極めて重要です。
- 予定外のメンテナンスを行うと、スクラバーの性能に影響を及ぼしますか？
- どのようにしてスクラバーのパフォーマンスを正確に把握および監視すればいいか、お悩みですか？
- スクラバーを施設の水管理計画に盛り込むことができるか、不安を感じていますか？
当社の水処理プログラムは、スケールと微生物の沈着を防ぐことで、スクラバー のパフォーマンス効率を維持し、環境に対するコンプライアンスを徹底します。
ナルコ ウォーターと提携し、スクラバーによる水処理を活用することで、次のメリットが得られます：
- 当社のプログラムを活用することで、エアスクラバーの効率を維持
- 予定外のメンテナンスの防止
- スケールおよび微生物の沈着を防止
- 介入不要な化学品処理プログラムにより、人々の健康と安全を確保
ダイアログウィンドウの始まり。「ファブおよびサブファブ」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
ファブおよびサブファブ
自己完結型の OEM 冷却回路は、製造工場全体の様々な製造工程から発生する熱を除去します。不適切な水管理は、予定外のダウンタイムや高価な資産の破損につながる恐れがあるため、こうした閉ループシステムには通常、厳格な水質要件が設定されています。
- 製造工場のエンジニアや製造機械の所有者は、機械の性能に影響を与える処理工程に関連する問題を報告していますか？
- 一般的な製造工場の運用条件にはない、特定の機械についての冷却要件がありますか？
- 機械に不具合が発生した場合、根本的原因を適切に特定するための分析能力はありますか？
当社の PCCL（重要工程閉ループ）プログラムにより、半導体製造機器メーカーは十分な稼働時間を維持し、機器の冷却水回路内の問題を回避できるようになります。
ナルコ ウォーターと提携し、自己完結型の冷却回路を保護することで次のメリットが得られます：
- 企業全体において一貫した分析サポートを提供
- グローバルで企業規模の展開が可能
- ツールに特化した水処理ソリューション
- 介入不要な化学品処理プログラムにより、人々の健康と安全を確保
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プロセス冷却水
プロセス冷却水（PCW）システムは製造において必要不可欠であり、製造工程で発生する熱を確実に除去します。PCW システムを効率的に運用することで、高価な生産設備を保護し、稼働時間を確保することができます。
- 製造工場のエンジニアは、フローの問題、機械の不具合、フローゲージの汚れなどの懸念を報告しますか？
- PCW ループが製造工場の期待する成果を上げているかを管理・検証するために必要なツールを、エンジニアに提供していますか？
- 製造工場で必要な製造機械を追加・再設定する際に発生する PCW システムの障害を、どう検出するかでお悩みですか？
冷却水システムに発生するスケールや腐食、微生物を抑制するエコラボの専門技術を活用し、水を保護することで、信頼性の高い製造環境を実現します。
ナルコ ウォーターと提携し、PCW 処理を活用することで次のメリットが得られます：
- 冷却水用 3D TRASARTM 技術で、伝導率、腐食のリスク、水力損失、pH などの重要なプロセス水パラメータをリアルタイムで把握
- TRAC 冷却水プログラムが、幅広い伝導の要件について多様な金属への優れた腐食防止効果を発揮
- ナルコ ウォーターのろ過システムが、許容誤差の小さい冷却水システムの沈殿物を最小限に抑えて冷却水の供給を確保
- 当社がサポートした工場では、冷却水用 3D TRASARTM 技術を活用し、年間 1090 万ガロン （4130 万リットル）の水を節約、PCW システムのアゾール排出量を 64% 削減しました
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プロセス真空
プロセス真空（PVAC）システムは、特定の機械の条件が満たされているか徹底し、信頼性の高いウエハー処理を可能にします。PVAC システムからの排熱には、効率的な熱伝達が求められます。この領域で水管理が不適切な場合、運用パフォーマンスの効率を低下させ、資産の耐用年数を損なうことになりかねません。深刻な状況に陥った場合、コストのかかる予期しないダウンタイムが発生することもあります。
- 封水の温度をモニターしていますか？その場合、高温アラームが作動したことがありますか？
- 設計上の性能を回復するため、PVAC 熱交換器をメンテナンス洗浄する必要がありますか？
- プログラムのアプローチと監視ツールが、PVAC システムのパフォーマンスを最大限に高めるうえで不十分であることを心配していますか？
当社では機械、運用、化学を考慮したアプローチを用いて、PVAC の問題を現場で解決します。当社の経験豊富なスタッフは、幅広く活動するラボや現地の分析リソースを活用し、根本的原因である微生物や腐食の分析などを行います。
ナルコ ウォーターと提携し、PVAC 水管理を活用することで次のメリットが得られます：
- 当社がサポートした工場では、予定外のメンテナンスを 95% 以上低減、システム用水の鉄分を 97% 削減し、さらに、カスタマイズされた PVAC 処理プログラムで年間 $85,700 を節約しました
- 望ましい成果を確実に達成し、その成果を文書化できるよう、現場で作業を遂行・追跡する製造工場従業員に対しトレーニングを実施するなど、数々のプログラムを共同で考案しています。
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冷水システム
冷水は、セントラルユーティリティ棟と他の製造工場設備をつなぐ重要な役割を担っています。通常、製造工場内で 2 番目にエネルギーを消費する設備は冷却装置です。こうしたシステムは、エアハンドラー、PCW、エアコンプレッサー、プロセス真空システムなどさまざまな資産に影響を与えます。
- 現行のプランや監視ツールを使用して、冷水システムの配管の滞留部や低流量ゾーンを適切に管理できるか心配ですか？
- 配管の汚損や詰まりによる冷却装置の性能低下で、冗長性の維持が困難になっていませんか？
- 冷却装置の効率を調査し、指定された負荷条件の定格容量で動作していることを確認しましたか？
製造工場の冷却水中におけるスケール、腐食、微生物の制御に重点を置くことで、信頼性の高い製造環境を確保することができます。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- 冷却水用 3D TRASARTM 技術により、伝導率、腐食率、水力損失、pH などの重要な水パラメータをプロセス内でリアルタイムで把握
- TRAC 冷却水プログラムが、幅広い伝導の要件について多様な金属への優れた腐食防止効果を発揮
- ナルコ ウォーターのろ過システムが、冷却水システムの沈殿物を最小限に抑えて、冷却水の一貫した安定供給を実現
ダイアログウィンドウの始まり。「排水」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
排水
マイクロエレクトロニクスの工場では、大量の排水が発生します。適切な処理戦略を選択する場合、安全性、コンプライアンス、信頼性、コストなど、製造工場の総ウォーターフットプリントに織り込まれるすべての考慮事項のバランスをとる必要があります。適切に処理された水は、他の用途に再利用できます。
- 工場の生産能力を最大限に高めるうえで、排水処理プロセスが妨げになっていませんか？
- 現行の排水処理プログラムで、高度な製造プロセスや変化していく排出制限によって引き起こされる変動に対応できますか？
- 貴社の排水処理アプローチは、製造工場における水関連のサステナビリティ目標の変化に対応していると感じますか？
エコラボの後処理のノウハウを活用することで、工場排水に含まれる重金属およびフッ素を制御し、規制への対応を徹底しながら総運用コストを最適化することができます。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- 排水用 3D TRASARTM 技術プログラムで、最小の総運用コストで環境コンプライアンスを達成
- 特定の排水問題に対応した DBOOM サービス（設計、構築、所有、運用、維持）
- NalmetTM 重金属除去プログラムで水生毒性レベルを改善し、キレート金属を処理
- 最適化されたスラッジ脱水により処理コストを最小化
ダイアログウィンドウの始まり。「超純水」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
超純水
超純水（UPW）は製造工場の生命線ともいえるもので、半導体製造プロセス全体を通じてプロセス化学薬品をウエハーに運び、ウエハーをすすぐ際に利用されます。先端技術ノードでは、UPW システムのオペレーション効率と信頼性を継続的に改善する必要があります。こうした状況において、スケール防止剤、クリーナー、微生物プログラムなど UPW の信頼性を支える化学物質を管理し、制御することがさらに重要になります。処理化学品プログラムをうまく取り入れることで、システムの信頼性、水/エネルギー効率、資産の耐用年数、総運用コストのバランスをとることが可能となります。
当社の PermaCareTM 製品シリーズおよび制御技術は、RO に関する問題を未然に防ぎ、優れた浸透を可能にします。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- 効果の高いスケール防止剤により、付着やダウンタイムの原因となるミネラル沈着物の膜への堆積を防止
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水処理膜用 3D TRASARTM 技術では次のことが可能になります：
- • スケール防止剤の投入量を正確に計量
- • 酸化剤の急増から膜を保護
- • 回収率と洗浄スケジュールを最適化
- 鉱物によるスケール、不溶性スケール、有機付着物、残留微生物を除去するために特別に配合された洗浄剤およびバイオサイド
ダイアログウィンドウの始まり。「水媒介性病原体リスク管理」についてご紹介します。「Escape」でウィンドウを閉じます。
水媒介性病原体リスク管理
製造工場内の水系ユーティリティの多くには、レジオネラ菌などの水媒介性病原体の潜在的なリスクが伴います。従業員にとって安全な労働環境を維持することは、マイクロエレクトロニクス業界にとって重要です。水媒介性病原体のリスクをモニタリングし、軽減するための包括的な管理計画を立てることで、従業員と地域社会の安全性を守ることにつながります。
- ASHRAE 規格 188 のガイドラインに沿った水に関するリスク管理プログラムを開発し、実践していますか？
- 施設内で水媒介性病原体のリスクを持つシステムはどれか、そして、そうしたリスクをどのように管理するか把握していますか？
- 貴社の水に関するリスク管理計画には、予防保全、モニタリング、また必要に応じた修復のための明確な手順書があり、従業員を安全を確保する方法を分かりやすく説明していますか？
当社では、水媒介性秒現代のリスク管理に対する総合的なアプローチを提供し、必要に応じて分析モニタリング、長期管理戦略、そして短期的な修復と緊急サービスを行うことができます。
ナルコ ウォーターと提携することで、次のメリットが得られます。
- 世界中のどの組織よりも頻繁にレジオネラ菌の分析を実施します。当社は、水の安全において 30 年以上の経験を持つグローバルエキスパートです。
- 稼働中の冷却塔の除菌： 高度な訓練を受けた当社認定サービスエンジニアが、稼働中のシステムを 6 時間以上かけて除菌し、システムを安全に通常の稼働状態に戻します。
- 非稼働中の冷却塔の除菌：当社認定サービスエンジニアが、冷却塔のデッキ、ファンの筐体部分、配水ノズル、冷却塔の充填材および排水槽を手作業で清掃します。
- 検査および認定 ‐ ナルコ ウォーターは、OSHA テクニカルマニュアル（セクション III： 第 7 章『レジオネラ症』）で発行されたガイドラインに準拠した認定を取得済みです。
- 全世界で 15,000 以上の冷却塔水管理プランを実践する当社が、お客様のオペレーションに合わせた ASHRAE 規格 188 準拠の水管理プランの作成をお手伝いします。
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分析支援
高度な製造プロセスには、深い知識を持つ分析支援サービスを備えたパートナーが必要です。包括的な技術サービスでは、根本原因分析を支援し、製品の品質、オペレーション効率、サステナビリティをサポートする適切なソリューションをご提案します。
- 貴社の分析データセットは、システムの健全性にとって重要なパラメータに沿っていますか？
- 決定的な根本原因分析を行うために必要な技術的リソースを利用することができますか？
- 水に関する問題が発生した際、分析情報を活用し、確実かつ正確に、そして繰り返し具体的な行動として実践することができますか？
当社のグローバルな分析支援は、より迅速かつ徹底したトラブルシューティングと問題解決を可能にします。ラボサービスには次が含まれます：
- 水質分析（UPW、PCW、排水、冷却水、再生水）
- 微生物分析
- 沈着物分析
- 故障分析（金属組織）
- 逆浸透（RO）膜の評価
- 腐食クーポン分析
この種の分析は、製造工場が以下のようなトピックについて迅速かつ賢明な決定を下す際に役立ちます：
- 製造に影響を及ぼす PCW 問題の解決
- 新たな水源を冷却水の補充用水として再利用し、水の消費量および水のフットプリントを低減
- RO システムのパフォーマンスを最適化
