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研磨用ナノ粒子

研磨用ナノ粒子

ナルコが自社のクロイダルシリカ製造能力の調整を行ったことで、CMP スラリーフォーミュレーターのニーズに合わせた高純度の革新的ナノ粒子が生まれました。

  • 超高純度水ガラス系ナノ粒子
  • 多様な粒子サイズ、粒度分布、粒子濃度
  • 工学的安定設計で幅広い pH 値に対応
  • リサーチ徹底型の協力体制

シリコンウエハー研磨用の研磨スラリーとして即使用可

ナルコは、シリコンウエハーやその他のマイクロチップ用半導体基板を製造する際の、液体研磨、エッジ研磨、仕上げ研磨の工程で幅広く利用できるコロイダルシリカ系研磨スラリーを製造しています。こうしたスラリーはまた、視力・光学関連用品、腕時計クリスタル、その他のガラス部品の高精度表面仕上げにも使用さらます。

当社の革新的なナノ粒子にご関心をお持ちいただけましたら、ナルコのコロイダル技術グループ CTGmarketing@nalco.com まで直接ご連絡ください。