ナルコ ウォーターでは、コロイダルシリカの製造能力を調整し、CMP スラリーフォーミュレーターのニーズに応える高純度の革新的なナノ粒子を提供しています。

• 超高純度水ガラス系ナノ粒子
• 多様な粒子サイズ、粒度分布、粒子濃度
• 工学的安定設計で幅広い pH 値に対応
• リサーチ徹底型の協力体制

シリコンウエハー研磨用の研磨スラリーとして即使用可

ナルコ ウォーターは、シリコンウエハーやその他のマイクロチップ用半導体基板を製造する際の、液体研磨、エッジ研磨、仕上げ研磨の各工程で幅広く利用されるコロイダルシリカ系研磨スラリーを製造しています。こうしたスラリーはまた、視力・光学関連用品、腕時計クリスタル、その他のガラス部品の高精度表面仕上げにも使用さらます。

当社の革新的なナノ粒子に関するご質問は、ナルコ ウォーターのコロイダル技術グループ（ CTGmarketing@ecolab.com ）まで直接お問い合わせください。