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マイクロエレクトロニクス
マイクロエレクトロニクスは、現代の技術のバックボーンである小型で繊細なハイテク部品です。電子技術の需要の高まりに伴い、シリコンウェハーおよび半導体チップメーカーは、製品性能、プロセス効率と歩留まり、そして全体的な製造のアプローチの継続的な改善を目指しています。
電子研磨研磨剤から、空気や水システムのさまざまな製品まで、当社の革新的技術がお客様の目標達成を支援します。ぜひ、エコラボにご相談ください。
水とエネルギーのコストを最小化
お客様の業務には、臨界冷却処理や高性能な水 / 空気要件を伴う様々なプロセスがかかわっています。データと安全性に基づく当社のアプローチは、この産業においてワールドクラスのレベルを誇ります。信頼できる製造サポートを提供すると同時に、水とエネルギーのコストを削減。文書化された持続可能な成果をもたらすことで、お客様の競争力の維持を支援します。
総合エレクトロニクス産業
超純水に関する専門知識
エコラボは、超純水技術に進出することにより、マイクロエレクトロニクスおよび半導体業界のニーズに応える能力を強化します。エコラボ®の超純水+ は、最新のマイクロチップに世界で最も純粋な水を供給するよう設計された独自の技術です。
研磨剤の提供
電子研磨プロセスは、半導体製造における重要なステップです。滑らかで平らな欠陥のない表面は、最終製品の信頼性と性能を保証します。エコラボは、さまざまな研磨プロセスや用途に対応する幅広いコロイダルシリカを製造しています。当社は、品質、均一性、カスタマイズされた製品開発に重点を置いています。
マイクロエレクトロニクス製造工場
当社の製品・サービス
超純水システム技術
エコラボ超純水は+ 、超純水の浄化と生産のすべての段階でお客様を支援できる幅広い製品を設計および製造しています。これらのソリューションには、最高の品質を保証するための UPW の常時リアルタイム監視が含まれます。
UPW における重要汚染物質のオンライン監視
エコラボの超純水+ 革新的なオンライン超純水（UPW）分析ソリューションは、尿素やトリハロメタン（THM）などの極めて重要な超純水汚染物質に関するデータを提供します。当社の UPW センサーと分析ソリューションは、UPW の常時リアルタイムの監視を保証し、最高の品質を達成します。
プロセス冷却水（PCW）
エコラボはプロセス冷却水中のスケール、腐食、微生物の制御に重点を置いています。こうして水を保護することで、工場において信頼性の高い製造環境を実現し、安定した生産を維持することができます。
冷却水システム
エコラボの冷却水技術により、マイクロエレクトロニクス製造施設では、再生されたプロセス洗浄水を冷却塔の補給水として使用できます。また場合によっては、冷却塔で真水を使用する必要がなくなります。そしていずれのケースでも、資産を確実に保護します。
分析支援サービス
膜のパフォーマンス
エンハンサー技術
エコラボの PermaCare 製品ラインおよび制御技術は、逆浸透（RO）に関する問題を防ぎ、高品質の浸透を保証するとともに、膜の寿命と信頼性を高めます。
水の安全
レジオネラ菌検査や冷却塔の点検から、除染、消毒、冷却塔の水管理計画に対応する認定まで、エコラボの水の安全プロトコルは、完全な水安全ソリューションを提供します。
エアハンドラー
エコラボの COIL-FLO™ コイル除染サービスは、HVAC のコイル効率と空気の質を改善し、「より多くの空気、より冷たい空気」を実現します。 当社が提供するエンドツーエンドのデータ主導型エネルギー評価とエアコイルのクリーニングを活用することで、スタッフの負担を軽減するとともに、業務の信頼性、安全性、専門性を維持することができます。
コロイダルシリカ研磨剤
エコラボは、さまざまな研磨プロセスや用途に対応するコロイダルシリカソリューションを提供しています。当社の包括的な製品群は、お客様に配合を設計する柔軟性を提供し、さまざまな基材の研磨性能を制御された形で調整できるようにします。